英福康全新现货IC6薄膜沉积控制器INFICON
英福康全新现货IC6薄膜沉积控制器INFICON
产品价格:¥59999(人民币)
  • 规格:IC6
  • 发货地:深圳
  • 品牌:
  • 最小起订量:1台
  • 诚信商家
    会员级别:钻石会员
    认证类型:企业认证
    企业证件:通过认证

    商铺名称:深圳市天铉真空技术有限公司

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    商品详情

      IC6 薄膜沉积控制器在 INFICON 深圳市天铉真空技术有限公司

      功能丰富的 IC6 提供测量精度

      IC6 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上,增添了更多独特的功能,可帮助您实现沉积过程的价值。IC6 使用我们的 ModeLock 频率测量系统,提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量,速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 ?/s,是行业中的佼佼者。IC6 具有其他石英晶体控制器无法比拟的性能、品质和功能,赋予您的过程卓越的可重复性。

       




      功能
      • INFICON ModeLock 技术确保获得高、稳定的速率和厚度测量分辨率,即使在速率极低的情况下
      • Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值,可提高厚度测量的精度
      • 支持最多六个来源同时共镀膜
      • 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
      • 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
      • USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
      • 强大的 I/O 凭借其灵活性可融入简单或复杂的系统(使用可扩展输入 (28) 和输出 (24 继电器,14 TTL 输出),并充分利用逻辑功能(100 个逻辑语句)
      • 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
      • 可容纳最多 50 个过程,每个过程 200 层,这些过程关联到一起,总共可容纳 10,000 层。
      • 多路传感器可平均分配为 8 个传感器
      • 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
      • 可选以太网通信
      • 符合 RoHS 标准

      典型应用

      • 高端光学镀膜

      零件号


      规格



      测量性能  
      频率分辨率 ±0.0035 Hz @ 6 MHz
      厚度和速率分辨率/测量 (1) ±0.00433 ?
      测量频率范围 6.0 to 4.5 MHz (fixed)
      厚度精度 (2) 0.5%
      测量周期 0.10 s
      多个测量值平均 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
      设计功能  
      Auto Z yes
      自动色调 yes
      共沉积 yes (up to 6 sources)
      过程配方和数据管理  
      材料计划 32
      过程层(每个过程) 200
      过程 50 (processes can be linked together)
      USB 存储器 yes
      数据记录 yes
      硬件功能  
      传感器 (3)  
      8
      双 / CrystalTwo® 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
      CrystalSix® 8
      Crystal 12® 8
      通用 8

    在线询盘/留言
  • 0571-87774297