商铺名称：深圳市天铉真空技术有限公司
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- 明亮的彩色 LCD 显示屏 - 提供英文或中文版本
- 标准 RS-232 和 USB（可选 RS-232 和以太网）
- 设有“Quick Setup”（快速设定）菜单、6 个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮，易于设定和操作
- 用于开发、测试和下载过程的 Windows® 程序，以及用于将仪器数据记录到 PC 进行过程分析与质量控制的 Windows 程序
- 精确的过程控制，尤其适用于低沉积速率，测量速率为每秒 10 个读数，测量分辨率为 ±0.03 Hz
- 存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料
- 使用单传感器或多传感器监控源材料，提供精确的源分布监控
INFICON SQC-310 系列提供同类膜厚控制仪深圳市天铉真空技术有限公司
高精度连续镀膜控制或共镀膜控制
凭借先进的技术、完善的显示和实惠的价格，INFICON SQC-310 系列提供同类膜厚控制仪无法企及的优势。可以选择适合您应用的理想型号：连续镀膜 (SQC-310) 或共镀膜 (SQC-310C)。
功能
零件号
规格
类型
SQC-310
SQC-310C
测量
QCM 输入
2 (4 optional)
4
测量频率范围
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
频率分辨率 (1)
± 0.012 Hz
± 0.012 Hz
厚度和速率分辨率/测量 (2)
±0.015 ?
±0.015 ?
频率稳定性
± 2 ppm total, 0 to 50C
± 2 ppm total, 0 to 50C
测量周期
0.10 to 1.0 s (adjustable)
0.10 to 1.0 s (adjustable)
速率显示
0.01 ?/sec
0.01 ?/sec
控制
存储
100 processes, 1000 layers, 50 films
100 processes, 1000 layers, 50 films
控制输出
2 (4 optional)
4
输出信号
± 0 to 10 VDC, 15 bits
± 0 to 10 VDC, 15 bits
数字输入/继电器
8/8 (16/16 optional)
16/16
数字输入
5 VDC non-isolated
5 VDC non-isolated
继电器
SPST Form 1A, 30V, 2A max
SPST Form 1A, 30V, 2A max
接口
Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
远程电源控制
Optional (IPN 782-900-017)
Optional (IPN 782-900-017)
显示器
类型
1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
图表
Rate, deviation, power or full screen numeric
Rate, deviation, power or full screen numeric
一般
功率
100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W
100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
合规性
CE, RoHS
CE, RoHS
Windows® 软件
Included
Included
壳体/安装
5 1/4” half-rack
5 1/4” half-rack
(2) 工具/密度 = 100/1，基础频率= 6 赫兹，0.25 秒测量间隔
