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随着计算机、微电子和信息技术的发展,推动了电子制造业的飞速发展,只有充分了解电子制造业的无尘车间设计特点,做到设计合理,才能提高电子制造产业的产品质量,提高生产效率。电子制造业洁净室的特点:洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。1.电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)2.电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。3.电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa4.电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的值:5.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。6.保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。7.电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。 |