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江南水陆两用挖掘机出租改装公司技术服务:传感器是使用最广泛的一种传感器,它是检测气体、液体、固体等所有物质间作用力能量的总称,也包括测量高于大气压的压力计以及测量低于大气压的真空计。力敏传感器的种类甚多、传统的测量方法是利用弹性元件的形变和位移来表示,但它的体积大、笨重、输出非线性。随着微电子技术的发展,利用半导体材料的压阻效应和良好的弹性,研制出半导体力敏传感器,主要有硅压阻式和电容式两种,它们具有体积小、重量轻、灵敏度高等优点,因此半导体力敏传感器得到广泛应用。
当对一块半导体在某一晶向上施加应力时,其电阻率会产生一定的变化。这种导体电阻率变化和应力之间的相互关系称为半导体压阻效应,利用此效应制成的力学量传感器称为压阻式力敏传感器,它有两种类型,一类是将半导体应变计粘贴在弹性元件上制成的传感器,称为粘贴型压阻式传感器,另一类是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成的扩散电阻,使应变计与硅衬底形成同一整体的传感器,称为扩散型压阻式传感器。