FC-TSGAS-1624

FC-TSGAS-1624参数一、产品简介FC-TSGAS-1624是宁德润恒自动化推出的一款高性能气体质量流量控制器。该产品采用先进的传感器技术和精准的控制算法，能够实现对多种气体的高精度测量与控制，广泛应用于半导体制造、光伏产业、化学分析、医疗设备等领域。二、产品特点高精度控制：FC-TSGAS-1624具备出色的精度和稳定性，确保气体流量的精确控制，误差范围小于±1.0%FS（满量程）。快速响应：响应时间小于1秒，能够迅速适应流量变化，满足高频次操作需求。宽量程比：流量控制范围广，量程比可达100:1，适用于不同流量需求的工艺过程。多种气体兼容：支持包括氮气、氧气、氩气、氢气等多种常见气体的流量控制。用户友好界面：配备直观的数字显示和操作面板，方便用户实时监控和调节流量参数。可靠耐用：选用优质材料和先进工艺制造，具有良好的抗腐蚀性和长期稳定性。三、主要技术参数流量范围：0-1000 sccm（标准毫升每分钟）控制精度：±1.0%FS响应时间：< 1秒工作压力：0-1 MPa工作温度：0-50°C供电电源：24VDC通讯接口：RS485连接口径：1/4英寸VCR接口尺寸：120mm×80mm×40mm四、应用领域半导体制造：用于刻蚀、沉积等工艺中的气体流量控制。光伏产业：在太阳能电池制造过程中控制气体流量。化学分析：应用于气相色谱仪、质谱仪等分析仪器。医疗设备：如呼吸机、麻醉机等设备的气体流量控制。科研实验：实验室中的气体流量精确控制。五、安装与使用注意事项安装环境：应安装在无强电磁干扰、无剧烈震动且通风良好的环境中。气体连接：确保气体连接口无泄漏，连接前需对管道进行彻底清洗。电源连接：严格按照供电要求连接电源，避免电压波动影响设备正常运行。定期校准：建议定期对设备进行校准，以保证其精度和稳定性。维护保养：日常使用中应注意保持设备清洁，避免灰尘和杂质进入内部。六、结语FC-TSGAS-1624气体质量流量控制器凭借其卓越的性能和稳定的品质，为各行业提供了可靠的气体流量控制解决方案。宁德润恒自动化将持续致力于技术创新和品质提升，满足客户不断变化的需求，为推动产业发展贡献力量。

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