催化燃烧过程是在催化燃烧装置中进行的。有机废气先通过热交换器预热到200～400℃，再进入燃烧室，通过催化剂床时，碳氢化合物的分子和混合气体中的氧分子分别被吸附在催化剂的表面而活化。由于表面吸附降低了反应的活化能，碳氢化合物与氧分子在较低的温度下迅速氧化，产生二氧化碳和水。

催化燃烧设备生物脱臭法是指利用微生物的代谢活动降解恶臭物质，使之氧化为产物，从而达到无臭化、无害化的目的。催化燃烧设备常用的方法有生物过滤池法、生物吸收法、生物滴滤池法和生物制剂法。当除臭要求高且被处理的恶臭气体成份复杂难以用单一方法去除时，可采用复合脱臭法，将各种方法组合成有效的除臭装置。