产品价格:0 元(人民币) 上架日期:2013年6月26日 产地:冀州市永红砂轮厂 发货地:冀州市永红砂轮厂 (发货期:当天内发货) 供应数量:不限 最少起订:1片 浏览量:107 暂无相关下载 其他资料下载:
简要说明:
角磨片磨光片分档监测标准
角磨片磨光片分档监测:对硅片进行损伤检测,存在损伤的硅片重新进行腐蚀。
粗磨光片:使用一次研磨剂去除损伤层,一般去除量在10~20um。此处产生粗抛废液。
精磨光片:使用精磨剂改善硅片表面的微粗糙程度,一般去除量1 um以下,从而的到高平坦度硅片。产生精抛废液。
磨光片腐蚀A/B:经切片及研磨等机械加工后,晶片表面受加工应力而形成的损伤层,通常采用化学腐蚀去除。
腐蚀A是酸性腐蚀,用混酸溶液去除损伤层,产生氟化氢、NOX和废混酸;腐蚀B是碱性腐蚀,用氢氧化钠溶液去除损伤层,产生废碱液。本项目一部分硅片采用腐蚀A,一部分采用腐蚀B。http://www.jzyhslc.com/products/2.html