详细介绍: HMDS烘箱的原理:
HMDS预处理系统通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。
HMDS烘箱技术参数:
电源电压:AC 220V±10%/50Hz±2%
输入功率:2000W
控温范围:RT+20℃-160℃
温度分辨率:0.1℃
温度波动度:±0.5℃
达到真空度:-100kPa(1torr)
工作室尺寸(mm):450*450*450(可定做)
有可自动吸取添加HMDS功能,智能型的程式设定,一键完成作业。
HMDS烘箱生产厂家http://www.junsish.com/ParentList-765956.html
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