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太阳能电池等离子刻蚀机	放大图片

产品价格：0 元(人民币)
上架日期：2012年11月27日
产地：山东招远
发货地：山东招远 (发货期：当天内发货)
供应数量：不限
最少起订：1台
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详细说明

品牌：戈德尔	产地：山东招远
价格：0人民币/台	规格：完善
简要说明：用于太阳能电池硅片边缘刻蚀制程，采用独特的高密度等离子(ICP)，刻蚀速率高，全进口配置组装。



详细介绍：　　◆ 外形尺寸(不包括报警灯) 1350(W)×800(D)×1750(H)mm ◆ 仓体结构(铝，约125升) 500(W)×500(D)×500(H)mm ◆ 旋转平台 Φ 400mm ，转速可调节 ◆ 等离子发生器(美国) 频率13.56MHZ,功率0-1250W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作 ◆ 控制系统触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制) 前级泵/ 英国爱德华爪式干泵 GV80 二级泵/ 英国爱德华罗茨泵 EH250(70L/S) 美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管 ◆ 充气系统美国MKS高精度电子质量流量计(四路气体配制) 美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀日本SMC及CKD高真空气阀组件

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