简要说明：台式小型机，PLC人机自动控制，简单易用，用于实验室及小批量工业生产中材料表面清洗、 刻蚀、活化等工艺。

　　◆ 外形尺寸

 570(W)×420(D)×740(H)mm

 420(W)×270(D)×170(H)mm

 250(W) ×190(D) mm,3层  

 RIE or DP模式自动转换

 频率13.56MHZ,功率0-500W连续调节,自动阻抗匹配

 触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制 ,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件，

性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

 德国莱宝(Leybold)真空泵   D30C (37m3/h)

 进口气动角阀、充气阀，德国(Inficon)压力传感器

 PID闭环自动稳压控制

 2路工艺气体+1路氮气配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克(FITOK)气体管路