有阀压电泵在精细化工、MEMS、生物医学工程等领域具有重大应用前景。精密谐波减速机SHD-20-50-2SH 为了克服有阀压电泵结构复杂、跟从与截止性差、成本高等缺点，设计一种异形拟悬臂梁结构的螺旋线形弹性固支阀，其螺旋臂长是简单悬臂梁阀的数倍，工作时开启度大，且因其螺旋线形弹性结构，阀体不仅可以上下回位，左右也具有对中功能，精密谐波减速机SHD-20-50-2SH 并把这种阀安装在有阀压电泵的泵腔内形成螺旋线形阀压电泵。

在深入分析有阀压电泵优缺点的基础上分析螺旋线形阀压电泵的工作原理，依照泵内部能量传递的路径建立压电驱动(电压、频率)为输入与泵流动(流量、压差)为输出之间的关系式，加工试验样机，并进行性能测试试验，精密谐波减速机SHD-20-50-2SH  螺旋线形阀压电泵具有泵功能，证明了其有效性和理论分析的正确性。